氫氟酸(HF)濕式洗滌塔
氫氟酸(HF)濕式洗滌塔
濕膜洗滌塔吸收技術
特點:
- 適合處理中高濃度之特殊廢氣(如HF等)的濕式洗滌處理系統。
- 金字塔型結構性的填充料(structure packing) 有較大的比表面積(≧128 m2/m3),與傳統的拉西環填充料相比,較能降低液氣比,提升濕式洗滌塔的處理效率。
- 對於親水性佳的無機酸鹼物質,即使是低濃度狀態,以濕膜吸收技術同樣具有良好的處理效率。
- 氫氟酸(HF)之廢氣處理效率≧99%。
- 設備操作參數是以低耗能(NaOH)方式運轉,節省化學品的消耗量〪
- 適用領域包括半導體產業、光電產業(玻璃薄化製程)及太陽能電池產業等。友達光電已在數年前導入此技術,用來處理氫氟酸(HF)廢氣,處理效率≧99%。